一句话先答:屏蔽光栅中固定或浮动位置的若干光束,让设备本身(如冲头、机械臂)通过而不触发。
Fixed Blanking:屏蔽固定位置的几束光,比如冲头在 X-Y 坐标的位置。冲头必须每次回到完全相同位置。
Floating Blanking:屏蔽任意位置的 1-2 束光,允许冲头位置漂移。但屏蔽数量必须严格限制,否则安全级别下降。
Blanking 必须在风险评估中明确允许,否则不能使用。
戴迪 DQA / DQC 系列支持 Fixed + Floating Blanking 双模式。
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